تحلیل و شناسایی خطای محیطی میکروسکوپهای پروبی روبشی در فرآیند ساخت نانوسازه ها
محل انتشار: نهمین کنفرانس مهندسی ساخت و تولید
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,415
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICME09_194
تاریخ نمایه سازی: 5 آبان 1388
چکیده مقاله:
تا این تاریخ، آنالیزهای مقداری(کمّی) بسیار واضحی از پدیده دریفت SPM در فرآیندهای نانوساخت(نانومنیپولیشن) و نانوتصویرگیری ارائه نشده است. زیرا تا به حال تحلیل مکانیکی مشخصی از سیستم صورت نگرفته و تمامی بیان ها فقط از سر حدس و گمان بوده است. در این مقاله آنالیز کمّی پدیده دریفت که عامل اصلی خطا در این سیستمها می باشد، انجام و مقدار آن در فرآیند تصویرگیری و همچنین فرآیند نانوساخت (نانومنیپولیشن) تخمین زده می شود. با درنظرگرفتن گرمای تولیدی در اکچویتور پیزوتیوب، مقدار دریفت سیستم محاسبه شده و نتایج بدست آمده به خوبی با نتایج تجربی انجام شده توسط گروهی فعال در این زمینه مطابقت دارد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
صادق صادق زاده
دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
محرم حبیب نژاد کورایم
استاد گروه مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :