ساخت و بررسی ویژگی های ساختاری و ریخت شناسی نانوساختارهای چندلایه ای

در این مقاله، سه الکترود رسانای شفاف (MoO(۳)/Cu/MoO(۳ و یک الکترود رسانا شفاف چهار لایه (MoO(۳)/Ag/Cu/MoO(۳ ساخته شد. ساختارهای سه لایه با ضخامت های مختلف لایه نشانی فلز مس و همچنین ساختار چهار لایه تحت شرایط یکسان بر روی زیر لایه های شیشه ای و به روش کندوپاش مگنترون تهیه شدند و پس از ساخت، خواص ساختاری و ریخت شناسی این نانوساختارها مورد بررسی قرار گرفت. در همه نمونه ها ضخامت لایه های (MoO(۳ ثابت و برابر ۵۰nm بود. مدت زمان لایه نشانی فلز مس در نمونه اول ۵۰ ثانیه، در نمونه دوم ۱۰۰ ثانیه و در نمونه سوم ۱۵۰ ثانیه بود. همچنین در ساختار چهار لایه ای علاوه بر فلز مس، یک لایه فلز نقره هم به ساختار اضافه شد. در این نمونه مدت زمان لایه نشانی فلز نقره ۳۰ ثانیه و فلز مس ۷۰ ثانیه بود. تغییرات خواص ذکر شده تحت بازپخت در دمای ۴۰۰ درجه سانتیگراد به مدت یک ساعت مورد مطالعه قرار گرفت و تغییرات ویژگی های آنها با نمونه های قبل از بازپخت مقایسه شد. برای بررسی دقیق خواص ساختاری و ریختشناسی این الکترودها، از آنالیزهای XRD ، FESEM ، استفاده شد. نتایج XRD نشان داد که نمونه (MoO(۳)/Cu/MoO(۳، که مدت زمان لایه نشانی مس آن ۵۰ ثانیه بود، دارای یک ساختار بی نظم است. نمونه دوم چند قله را نشان داد که متناظر با فاز ارتورومبیک (α-MoO(۳ و فاز هگزاگونال (MoO(۳ بود. همچنین این قله ها در نمونه سوم با شدت بیشتر ظاهر شدند. نمونه (MoO(۳)/Ag/Cu/MoO(۳ که شامل یک لایه اضافی فلز نقره بود، تمام این قله ها را نشان داد. مشاهدات FESEM نشان داد که ضخامت نمونه ها با افزایش مدت زمان لایه نشانی فلز میانی مس افزایش یافت. ساختار چهار لایه بیشترین ضخامت را در میان تمام نمونه ها داشت. پس از حرارتدهی، ضخامت نمونه ها بیشتر شد.

کلیدواژه ها:

نانو ساختارهای چند لایه ، اکسیدفلز/فلز/اکسید فلز ، کندوپاش مغناطیسی ، ویژگی های ساختاری ، ریخت شناسی