تاثیر پارامترهای فرآیند بر ویژگی های پوشش رسوب فیزیکی بخارآلومینیم

سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,698

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CIMS09_203

تاریخ نمایه سازی: 17 آذر 1385

چکیده مقاله:

خواص پوشش های رسوب فیزیکی بخار (PVD) به نحو قابل ملاحظه ای از پارامترهای فرایند تاثیر می پذیرد . در این پژوهش، دو فرایند تبخیر در خلا و پوشش دهی یونی (Ion Plating) مورد بررسی قرار گرفته اند . تاثیر فاصله زیرلایه تا منبع تبخیر در روش تبخیر در خلا و اثر توام ولتاژ پلاسما و فشار گاز آرگون روی مشخصات رسوب بخار یونی آلومینیوم (Ion Vapour Deposition)IVD ، با ایجاد پوشش روی فولاد ابزاری گرمکار H11 بررسی شد . پوشش ها با استفاده از میکروسکوپ های نوری، الکترونی روبشی، زبری سنج و ضخامت سنج مورد ارزیابی قرار گرفتند . بررسی خواص ظاهری و مورفولوژی پوشش ها نشان داد که ساختار به صورت ستونی متخلخل است . با ارزیابی ظاهری پوشش ها ، فاصله زیرلایه تا منبع حرارتی در محفظه موجود cm ۸ به عنوان فاصله بهینه انتخاب گردید و در ولتاژ ۳ کیلوولت و فشار ۰۱ میلی تور، پوشش بهینه حاصل شد . اندازه گیری ضخامت پوشش نشان داد که پوشش های اعمالی به روش پوشش دهی یونی، توزیع یکنواخت تری از ضخامت را در مقایسه با پوشش های تبخیری دارا هستند

کلیدواژه ها:

نویسندگان

حسن حیدری

دانشجوی کارشناسی ارشد شناسایی و انتخاب مواد دانشکده مهندسی مواد - دان

حمید دهاقین

کارشناس و محقق مرکز پژوهش و مهندسی سطح ایران مرکز پژوهش و مهندسی سطح ا

محمدرضا طرقی نژاد

استادیار دانشکده مهندسی مواد - دانشگاه صنعتی اصفهان

فخرالدین اشرفی زاده

استاد دانشکده مهندسی مواد - دانشگاه صنعتی اصفهان