ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر

در این مقاله باتابش نور لیزر اگزایمر پالسی، طرح هایی با ابعاد میکرونی برروی نمونه های فلزی و غیرفلزی ایجاد نموده ایم. مراحل انجام کار به سه بخش لایه نشانی، تولید ماسک و نوردهی نمونه تقسیم شده است. درابتدا به روش تبخیر حرارتی لایه ای از مس روی زیرلایه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد میلی متری روی لایه مسی ایجاد شده است. در انتها با تصویر کردن طرح ماسک روی نمونه ، طرح های میکرونی روی نمونه های مختلف ایجاد شده است.

کلیدواژه ها:

لیزر اگزایمر ، لایه نشانی ، طرح های میکرونی