ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر

سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 985

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICOPTICP16_348

تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388

چکیده مقاله:

در این مقاله باتابش نور لیزر اگزایمر پالسی، طرح هایی با ابعاد میکرونی برروی نمونه های فلزی و غیرفلزی ایجاد نموده ایم. مراحل انجام کار به سه بخش لایه نشانی، تولید ماسک و نوردهی نمونه تقسیم شده است. درابتدا به روش تبخیر حرارتی لایه ای از مس روی زیرلایه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد میلی متری روی لایه مسی ایجاد شده است. در انتها با تصویر کردن طرح ماسک روی نمونه ، طرح های میکرونی روی نمونه های مختلف ایجاد شده است.

نویسندگان

نجیبه فتح اله زاده

دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک

مهدی سویزی

دانشگاه ولی عصر (عج) رفسنجان، گروه فیزیک

محمد خان زاده

دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک

سیدمحمدباقر مرعشی

دانشگاه ولی عصر(عج) رفسنجان، گروه فیزیک

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • لود میلاکرتوا، "فیزیک لایه‌های نازک"، ترجمه هادی سوالوانی ...
  • "مقدمه‌ای بر روش‌های مدرن ماشین کاری قطعات فلزی"، انجمن‌های تخصصی ...
  • Machining & CNC Manufacturing: A brief history, http :/www.me.wpi _ ...
  • R. Paetzel Lambda Physik AG, Gittingen, "Comparison Excimer Laser _ ...
  • N. Rizvi, D. Milne, P. Rumsby and M. Gower, :Laser ...
  • نمایش کامل مراجع