CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر

عنوان مقاله: ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر
شناسه ملی مقاله: ICOPTICP16_348
منتشر شده در شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:

نجیبه فتح اله زاده - دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
مهدی سویزی - دانشگاه ولی عصر (عج) رفسنجان، گروه فیزیک
محمد خان زاده - دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
سیدمحمدباقر مرعشی - دانشگاه ولی عصر(عج) رفسنجان، گروه فیزیک

خلاصه مقاله:
در این مقاله باتابش نور لیزر اگزایمر پالسی، طرح هایی با ابعاد میکرونی برروی نمونه های فلزی و غیرفلزی ایجاد نموده ایم. مراحل انجام کار به سه بخش لایه نشانی، تولید ماسک و نوردهی نمونه تقسیم شده است. درابتدا به روش تبخیر حرارتی لایه ای از مس روی زیرلایه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد میلی متری روی لایه مسی ایجاد شده است. در انتها با تصویر کردن طرح ماسک روی نمونه ، طرح های میکرونی روی نمونه های مختلف ایجاد شده است.

کلمات کلیدی:
لیزر اگزایمر، لایه نشانی، طرح های میکرونی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/73893/