سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Optical properties of diamond-like carbon nano-film deposited by RF- PECVD

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 544

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

MINMETALCONF01_074

تاریخ نمایه سازی: 25 آذر 1395

چکیده مقاله Optical properties of diamond-like carbon nano-film deposited by RF- PECVD

Diamond-like carbon (DLC) nano-films were deposited on glass substrates by RadioFrequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition method (RF-PECVD) usingmethane (CH4) and hydrogen (H2) gases. X-ray diffraction (XRD) and Raman spectroscopywere used to characterize the structure of the DLC films. The optical properties of theDLC films were investigated by UV-VIS-NIR spectrophotometer and ellipsometer. Inamorphous carbons ID/IG is a measure of the size of the sp2 phase organized in rings. IfID/IG is negligible, then the sp2 phase is mainly organized in chains, or, even if rings arepresent, the  bonds are not fully delocalized on the rings. XRD showed that the DLCfilm included amorphous structure and the raman spectroscopy showed that the ratio ofthe D and G peaks (ID/IG) is negligible (0.87). this was confirmed by XRD results. Theoptical results indicated that refractive index and band gap of the DLC thin film were 1.9and 1.45 eV, respectively.

کلیدواژه های Optical properties of diamond-like carbon nano-film deposited by RF- PECVD:

نویسندگان مقاله Optical properties of diamond-like carbon nano-film deposited by RF- PECVD

Esmaeil Karami

M.Sc. of Materials Engineering, Maleke Ashtar University of Technology, Shahinshahr, Esfahan, Iran

Akbar Eshaghi

Faculty of Materials Science and Engineering, Maleke Ashtar University of Technology, Shahinshahr, Esfahan, Iran

Vahid Mohtadi

M.Sc. of Materials Engineering, Maleke Ashtar University of Technology, Shahinshahr, Esfahan, Iran

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
Santos, L. V., Airoldi, V. J. T., Corat, E. J., ...
Hongl ertkongsakul, K, Mar, P. W., & Paos awatyanyong, B. ...
Oliveira, M. H., Silva, D. S., Cortes, A. D. S., ...
Choi, W. S., Kim, K., Yi, J., & Hong, B. ...
Crombez, R., Minis, J. M., Veerasamy, V. S., & Shen, ...
Umeno, M., & Adhikary, S. (2005). "Diamond-like carbon thin films ...
Veerasamy, V. S., Luten, H. _ Petrmichl, R. H., & ...
Woj ciechowski, K. T., Zybala, R., Mania, R., & Morgiel, ...
Oliveira, E. C., Cruz, S. A., & Aguiar, P. H. ...
Huang, S. J., Jeng, Y. R. & Liu, K. F. ...
Mobner, C., Grant, P., Tran, H., Clarke, G., Lockwood, D. ...
Lin, C. R., Weia, D. H., Chang, C. K., & ...
Choia, W. S., & Hong, B. (2008). "The effect of ...
Shukla, S., & Kumar, S. (2012). "Optical charact erization of ...
Semikina, T. V., & Shmyryeva, A. N. (2002). "Optical, anti-reflective ...
Umeno, M., & Adhikary, S. (2005). "Diamond-like carbon thin films ...
نمایش کامل مراجع