شبیه سازی رفتار مکانیکی میکروسنسور فشار پیزورزیستوری

در این تحقیق رفتار مکانیکی یک میکرو سنسور فشار پیزورزیستوری به روش المان محدود شبیه سازی شده است. مقدار جابجایی دیافراگم سنسور و توزیع پتانسیل الکتریکی در پیزورزیستورهای سنسور به ازاء اعمال فشارهای مختلف، مورد بررسی قرار گرفت. با انجام تحلیل تنش ون مایزز روی سازه سنسور، مشخص شد که حداکثر تنش ون مایزز ایجاد شده در این سازه حدود 6 گیگاپاسکال می باشد که مقدار آن کمتر از حد تسلیم بوده و سنسور دچار تغییر فرم پلاستیکی نمی شود. سپس با انجام تحلیل خستگی روی سنسور مذکور معلوم شد که این سنسور از عمر بسیار بالایی برخوردار است.

کلیدواژه ها:

سیستمهای میکروالکترومکانیک ، سنسور فشار ، پیزورزیستیو ، تنش ون مایزز ، خستگی ، المان محدود ، شبیه سازی