ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم

سال انتشار: 1394
کد COI مقاله: ECCONF01_081
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 859
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم

مهدیه یاری اسبویی - دانشگاه گلستان
یدالله هزارجریبی - دانشگاه گلستان
بهرام عزیزالله گنجی - دانشگاه نوشیروانی بابل

چکیده مقاله:

این مقاله طرحی جدید از سنسورفشار خازنی با تکنولوژی ممز را که دارای حساسیت زیاد و اندازه ی کوچک است ارائه می دهد. سنسور عنوان شده برای اندازه گیری فشار داخل چشمی در رنج 60-0 میلیمتر جیوه است که برای درمان بیماران گلوکوما استفاده می شود، اندازه ی این سنسور 300x300 میکرومتر مربع است و دارای دیافراگم و صفحه ی متحرک جدا از هم می باشد که به کمک یک کوپلینگ مکانیکی به هم وصل شده اند. دیافراگم با ضخامت 1 میکرومتر و از جنس پلیماید است. دو صفحه که الکترودهای خازن را تشکیل می دهندو کوپلینگ مکانیکی از جنس طلا می باشند. این ساختار توسط نرم افزار اینتلسوییت طراحی شده و با توجه به نتایج شبیه سازی، حساسیت سنسور طراحی شده (3-)3/766x10؛ (1-)(پاسکال) و حساسیت مکانیکی دیافراگم (10-)1/79x10 (متر با کارهای انجام شده قبل دارای اندازه کوچکتر و حساسیت بیشتر و پاسخی خطی تر است.

کلیدواژه ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ECCONF01_081 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/559632/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
یاری اسبویی، مهدیه و هزارجریبی، یدالله و عزیزالله گنجی، بهرام،1394،طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم،اولین کنفرانس سالانه تحقیقات کاربردی در مهندسی برق، کامپیوتر،شیراز،https://civilica.com/doc/559632

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1394، یاری اسبویی، مهدیه؛ یدالله هزارجریبی و بهرام عزیزالله گنجی)
برای بار دوم به بعد: (1394، یاری اسبویی؛ هزارجریبی و عزیزالله گنجی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Katuri K. C., Ramasubramat an _ K., Asrani S., 2212. ...
  • Katuri K. C., Asrani S., Rama subramani an M. K., ...
  • Asrani S., Zeimer R., Wilensky J..Geiser D., Vitale S., Lindenmuth ...
  • IOP are an independent risk factor in glaucoma patients." J ...
  • Barkana Y., Anis S., Liebmann J., Tello C, and Ritch ...
  • Dohyuk Ha., Wilhelmine N et al., 2211 ., _ Polymer-based ...
  • Ganji B. A., S hahiri -Tabarestani M., 2213. _ novel ...
  • Richardson R.R... _ Miller J.A., Reicher , W.M., 11 13. ...
  • Rousche P.J., D.S. Pellinen, Williams J.C., Vetter R.J., Kipke D.R., ...
  • Chau H., Wise K. D., 1123. "Scaling limits in batch- ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 2,392
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی