طراحی تحلیل وشبیه سازی یک میکروسنسورخازنی شیب

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 506

فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

COMCONF01_645

تاریخ نمایه سازی: 8 آذر 1394

چکیده مقاله:

دراین مقاله یک ساختارجدید برای سنسورشیب مبتنی برتکنولوژی MEMS ارایه شده است عملکرداین میکرو سنسورخازنی شیب به شکل تحلیلی مورد بررسی قرارگرفته و معادلات حاکم برتغییرات ظرفیت خازن ها دراثرشیب و حساسیت استخراج شده اند این سنسور ازخازنهایی متغیر با شیب تشکیل شده که حرکت صفحه فلزی مشترک درآنها دراثرشیب باعث تغییرات میشود این سنسور باساختاراستوانه ای امکان دستیابی به رابطه خطی بین تغییرات زاویه و خازن را فراهم کرده و سنجش شیب را امکان پذیر مینماید خروجی خطی درتمامی رنج دینامیکی ازمهمترین ویژگیهای این سنسور است که بااستفاده ازتحلیل ها و نرم افزار Matlab نشان داده شده است ازدیگرویژگیهای این سنسور اندازه گیری تغییرات شیب به کمک مایعات است که میتوان گفت درمحدوده بهترین نوع سنسورهای شیب جای دارد زیرا سنسورهای شیب مایع بدلیل هزینه پایین درمقابل عملکرد خوب بیشترین بازار را به خود اختصاص داده اند میکروسنسورپیشنهادی تک محوره بوده و رنج اندازه گیری آن دربازه 0تا360درجه و به شکل خطی بوده بعلاوه ازحساسیت خوبی برخوردار است

نویسندگان

فهیمه میر

دانشجوی کارشناسی ارشددانشگاه شهیدباهنرکرمان

مهدیه مهران

عضو هیئت علمی بخش برق دانشگاه شهیدباهنرکرمان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :