مقایسه روش های لیتوگرافی (اشعه ایکس و اشعه ی یونی)

در علم الکترونیک لیتوگرافی نوعی روش برای انتقال نقشه و الگوی مدارات طراحی شده بر روی مواد نیمه هادی ها می باشد. لیتوگرافی اولین گام در انتقال اطلاعات مربوط به الگوی مدار روی ویفر است.پس اساس کار انتقال یک تصویر بر روی یک ماده حساس(ویفر) می باشد. با پیشرفت تکنولوژی،مدارات الکترونیکی روز به روز کوچکتر شده است. فشردگی مدارات و افزایش چگالی آن در یک آی سی منجر به تکامل و ساخت ابزارهای لیتوگرافی شده است. رسیدن ابعاد ادوات به زیر یک میکرومتر، نتیجه تکامل فناوری مختلف در عرصه لیتوگرافی بوده است.در این مقاله سعی شده است که دو روش لیتوگرافی اشعه ایکس و اشعه ی یونی مورد بررسی قرار گرفته و با یکدیگر مقایسه شود