بررسی انواع شتاب سنجهای نیمه هادی ساخته شده با تکنولوژی میکروماشینینگ

سال انتشار: 1380
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,103

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISCEE04_058

تاریخ نمایه سازی: 14 آذر 1390

چکیده مقاله:

شتاب سنجهای نیمه هادی اکنون در دنیای الکترونیک و صنعت مدار مجتمع و میکروماشینینگ از اهمیت خاصی برخوردار شده اند همانگونه که از نام آنها مشخص است وسایلی برای تعیین شتاب اجسام متحرک می باشند شتاب سنج ها عمدتا به سه دسته شتاب سنجهای پیزورزیستیو و خازنی و جریان تونلی تقسیم میشوند دراین مقاله به بررسی این سه نوع شتاب سنج خواهیم پرداخت

نویسندگان

امیدرضا قاسمی

دانشگاه علم وصنعت ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • B.E.Boser, R.T.Howe "Surface micromachined _ Vol31, No.3, 1996 ...
  • C.Yeh, K. Najafi "A 1ow - voltage tunneling based silicon ...
  • P.W.Satch "9 Thermaly excite silicon accelerometer Sensors and Actuators, Vol ...
  • S.M. Sze "VLSI rechnology" ...
  • S.M. Sze "Semiconductor sensors" John wiley & sons, 1994 ...
  • نمایش کامل مراجع