لیتو گًرافی با آرایه میکروعدسی
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 984
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP17_101
تاریخ نمایه سازی: 19 آبان 1389
چکیده مقاله:
لیتوگرافی میکروعدسی یک روش لیتوگرافی است که هیچ محدودیتی روی ابعاد ماسک و مساحت ویفر ایجاد نمی کند جزئیات محاسبات ابیراهی ها و طراحی یک سیستم عدسی برای لیتوگرافی میکروعدسی دراین مقاله بحث شده است سیستم دارای سه ارایه میکروعدسی است ما این سیستم را با روشهای هندسی و مبتنی بر پراش شبیه سازی و بهینه سازی کرده ایم توان جداسازی سیستم با استفاده از سطوح اسفریک افزایش یافته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
ایت اله کریم زاده
دانشگاه امیرکبیر پژوهشکده اپتیک و لیزر
حمیدرضا فلاح
دانشگاه اصفهان دانشکده فیزیک
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :