ایت اله کریم زاده - دانشگاه امیرکبیر پژوهشکده اپتیک و لیزر
حمیدرضا فلاح - دانشگاه اصفهان دانشکده فیزیک

لیتوگرافی میکروعدسی یک روش لیتوگرافی است که هیچ محدودیتی روی ابعاد ماسک و مساحت ویفر ایجاد نمی کند جزئیات محاسبات ابیراهی ها و طراحی یک سیستم عدسی برای لیتوگرافی میکروعدسی دراین مقاله بحث شده است سیستم دارای سه ارایه میکروعدسی است ما این سیستم را با روشهای هندسی و مبتنی بر پراش شبیه سازی و بهینه سازی کرده ایم توان جداسازی سیستم با استفاده از سطوح اسفریک افزایش یافته است.

لیتوگرافی، میکروعدسی، ردیابی پرتو، طراحی اپتیک