بررسی ساختار خازنی برای آشکارسازی گاز هیدروژن با استفاده از نانو سنسور MOS

حسگر هیدروژنی بر اساس ساختار فلز-اکسید-نیمرسانا ساخته شده است. تاثیر ضخامت لایه اکسید بر روی زمان پاسخ دهی و زمان برگشت پذیری مورد بررسی قرار گرفته است. بالاترین پاسخ دهی و کمترین زمان پاسخ-دهی و برگشت پذیری حسگر به گاز هیدروژن برای نمونه های مختلف بررسی شده است. نتایج نشان می دهند که ساختار Ni/SiO2/Si یک حسگر با سرعت پاسخ دهی بالا برای آشکارسازی گاز هیدروژن می باشد. مقایسه حسگرهای خازنی مختلف اطلاعات مفیدی را در مورد پارامترهای تاثیر گذار بر ساختار MOS به دست می دهد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، نانو سنسور ، خازن ، پاسخ دهی