تاثیر جهت کریستالی بر ماشین کاری نانومتری سیلیکون با استفاده از شبیه سازی دینامیک مولکولی

کیفیت ماشینکاری سیلیکون، شدیدا به جهت ماشینکاری و همچنین صفحه کریستالی تحت برش بستگی دارد. در این مقاله به بررسی تاثیر سه صفحه کریستالی (001)، (110) و (111) بر مکانیزم برادهبرداری سیلیکون در فرآیند ماشینکاری نانومتری پرداخته شده است. در هر صفحه نیز، دو جهت برشی در نظر گرفته شد و بدین ترتیب در مجموع، شش حالت مختلف مورد مطالعه قرار گرفت. دمای قطعه کار، نیروهای برشی و همچنین توپوگرافی سطح حاصل از ماشینکاری، مواردی بودهاند بررسی گردیدند. نتایج شبیه سازی دینامیک مولکولی نشان داد که دمای قطعهکار، بیشتر وابسته به راستای برشی و نیرویهای ماشینکاری، وابسته به صفحه کریستالی میباشند.

کلیدواژه ها:

ماشین کاری نانومتری ، جهت کریستالی ، دینامیک مولکولی ، سیلیکون