تحلیل ناپایداری استاتیکی و دینامیکی میکرو صفحه خازنی برای کاربرد فشارسنج های قابل تنظیم

در این مقاله ابتدا سیستمهای میکروالکترومکانیکی خازنی به صورت خلاصه معرفی میشوند. سپس ناپایداری پولین شرح داده میشود. پس از اشاره به چند مورد از انواع تحریک در سیستمهای میکروالکترومکانیکی، تعدادی از مقالات به عنوان پیشینه پژوهش در رابطه با موضوع پدیده پولین مورد بررسی قرار خواهند گرفت. سپس مدل مورد بررسی در این مقاله، شرح داده شده و پارامترهای مورد استفاده معرفی میگردند. روابط ارتعاش میکرو صفحه دایره ای استخراج شده و پس از بی بعدسازی روابط برای خیز استاتیکی و دینامیکی دو رابطه مجزا بدست می آید. برای خطی سازی معادله خیز استاتیکی از روش خطی سازی گام به گام1 استفاده میشود. برای بدست آوردن ضرایب جرم، فنر، دمپر و نیرو در معادله دیفرانسیل ارتعاش اجباری میکرو صفحه دایره ای، از روش کاهش مرتبه گلرکین استفاده شده است. همچنین برای میکرو صفحه دایره ای مورد مطالعه در این مقاله، با حل تحلیلی معادله خیز دینامیکی، آنالیز پاسخ فرکانسی نیز انجام خواهد گرفت . نمودارهای خیز-ولتاژ و فرکانس-ولتاژ با استفاده از نرم افزار کامسول نیز استخراج خواهند شد.

کلیدواژه ها:

سیستمهای میکروالکترومکانیکی خازنی ، میکرو صفحه دایره ای ، ناپایداری پولین ، پاسخ فرکانسی