ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

ساخت قطعه در ابعاد میکرو

سال انتشار: 1388
کد COI مقاله: NMEC02_157
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 1,790
فایل این مقاله در 14 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 14 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله ساخت قطعه در ابعاد میکرو

مهدی تاجداری - دانشیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
سعید زارع چاوشی - دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، ساخت و تولید دانشگاه صنایع و معا
احسان شهبازی - کارشناس مهندسی مکانیک، ساخت و تولید

چکیده مقاله:

میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت در اندازه میکرو که بطور مستقیم برای ساخت سیستم های میکرو الکترو مکانیکی استفاده می شوند محدودیتهای خاص خودشان را دارند برای مثال دراین تکنولوژی ، ساختاری که تولید می شود اغلب به استفاده از سیلیکون محدود می شود و تجهیزاتی که برای این تکنولوژی مورد نیاز است بسیار گران می باشد روشهای پرکاربرد میکروماشین کاری و تکنولوژی های ساخت قطعات در ابعاد میکرو شامل پروسه های روبرو می باشد : 1) متدهای براده برداری مانند میکروماشین کاری تخلیه الکتریکی، سنگ زنی با تخلیه الکتریکی و سیم و میکروماشین کاری لیزر 2) تکنیکهای رسوب دهی ماده مانند رسوب دهی بخار شیمیایی به کمک لیزر، استریو لیتوگرافی ماورا بنفش ، اچ کردن 3) LIGA ( که از یک کلمه آلمانی گرفته شده) و دیگر متدهای وابسته به فوتولیتوگرافی، مقاله حاضر به بررسی و مقایسه متدهای ذکر شده پرداخته است. برای ارزیابی روشها و معیارهای مطرح شده در پایان جدولی تهیه شده است که به مقایسه روشها و تکنولوژیها ی ذکر شده و نقاط قوت و ضعف هر یک می پردازد. با توجه به این جدول، پروسه LIGA علی رغم تجهیزات گران و قیمت ساخت یکی از مهمترین و کارآمدترین تکنیک ها می باشد.

کلیدواژه ها:

ساخت درا ندازه میکرو، میکرو ماشین کاری، LCVD، استریو لیتوگرافی، LIGA

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا NMEC02_157 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/80973/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
تاجداری، مهدی و زارع چاوشی، سعید و شهبازی، احسان،1388،ساخت قطعه در ابعاد میکرو،دومین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید،نجف آباد،https://civilica.com/doc/80973

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1388، تاجداری، مهدی؛ سعید زارع چاوشی و احسان شهبازی)
برای بار دوم به بعد: (1388، تاجداری؛ زارع چاوشی و شهبازی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Van Dyke, L.S., Brunlink, C.J. and Martin, C.R., 1992, UV ...
  • silicon by EDM - part 2 : application, Sensors and ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 8,424
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی