ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

بررسی تاثیر نسبت زمان خاموشی به زمان روشنایی در ایجاد لایه های نازکTiN از طریق روش PACVD بر روی فولاد ابزار

سال انتشار: 1387
کد COI مقاله: ISSE09_069
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 1,019
فایل این مقاله در 13 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 13 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی تاثیر نسبت زمان خاموشی به زمان روشنایی در ایجاد لایه های نازکTiN از طریق روش PACVD بر روی فولاد ابزار

مانی منتظری - دانشجوی کارشناسی مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه علم و صنعت ایران
شاهرخ آهنگرانی - استادیار سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
منصور سلطانیه - دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه علم و صنعت ایران
علی محمدی - کارشناس ارشد مهندسی مواد و متالورژی

چکیده مقاله:

فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما (PACVD) امکان ایجاد لایه های نازک روی زیرلایه های فولادی با اشکال هندسی پیچیده را در زیر دمای برگشت فراهم میکند.در این تحقیق به منظور بهبود ساختار و خواص کاربردی یک نوع فولاد ابزار گرم کار از فزایند PACVD برای رسوب لایه های نازک نیترید تیتانیوم استفاده شد.بدین منظور گازهای Ar .n2 H2 و بخار TiCl4 با مجموع دبی ورودی 2nl/min و نسبت n2h2=./22 در دمای 540 درجه و فشار محفظه 5-3 mbar وارد محفظه پلاسما با جریان مستقیم پالسی شده و رسوب دهی به مدت 90 دقیقه صورت گرفت در این آزمایشات از 3 نسبت مختلف زمانهای روشنایی و خاموشی به عنوان پارامتر تاثیر گذار بر ایجاد لایه های Tin و خواص آنها استفاده گردید.به منظور بررسی لایه های ایجاد شده از آنالیز پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونیکی روبشی آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی و آزمایش نانو سختی سنجی استفاده شد.نتایج نشان داد که با افزایش نسبت Tpause/Tpause رنگ پوشش به سمت طلایی میل کرده ودر انتها لایه تشکیل شده از یک رشد همسانگرد سطح صاف تر ضخامت بیشتر اندازه دانه های کوچکتر و نانو سختی بالاتر برخوردار گردید.بیشترین رشد لایه ها در بیشترین Tpause صورت گرفته که با مبانی تئوری موجود تطابق دارد.

کلیدواژه ها:

رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما.نیترید تیتانیوم.لایه نازک

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ISSE09_069 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/79551/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
منتظری، مانی و آهنگرانی، شاهرخ و سلطانیه، منصور و محمدی، علی،1387،بررسی تاثیر نسبت زمان خاموشی به زمان روشنایی در ایجاد لایه های نازکTiN از طریق روش PACVD بر روی فولاد ابزار،نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی،تهران،https://civilica.com/doc/79551

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1387، منتظری، مانی؛ شاهرخ آهنگرانی و منصور سلطانیه و علی محمدی)
برای بار دوم به بعد: (1387، منتظری؛ آهنگرانی و سلطانیه و محمدی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • . P. Hardt, M. Eckel, M. Schmidt, H. Wulff, Influence ...
  • . K.S. Mogensen, N.B. Thomsen, S.S. Eskildsen, C. Mathiasen, J. ...
  • . K.S. Mogensen, S.S. Eskildsen, C. Mathiasen, J. Bottiger, Optical ...
  • . K.S. Mogensen, C. Mathiasen n, S.S. Eskildse , H. ...
  • . S. Siviram, chemical vapor deposition: Thermal and plasma deposition ...
  • . ASM, Metals Handbook, Third Edition, _ 18, 840-849 ...
  • . E. Badisch, G.A. Fontalvo, M. Stoiber, C.Mitterer, Tribological behavior ...
  • . M. Eckel, P. Hardt, M. Schmidt, H. Wulff, Investigation ...
  • . M. Stoiber , J. Wagner, C. Gammer , _ ...
  • . M.R. Hilton, M.Salmeron, G.A. Somorjai, :Effect of argon during ...
  • . S. Shimada, Y. Takada, J. Tsujino, Deposition of TiN ...
  • . D. Heim, F.Holler, C. Mitterer, _ coating produced by ...
  • . Key to steel, C.W. Wegst, Verlag Stahlschlussel Wegst, 1989 ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 22,774
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی