تاثیر برخورد یون خنثی بر دز ذرات فرودی بر سطح کاتد در پلاسمای پالسی

با استفاده از مدل سیالی پلاسما و با در نظر گرفتن اثرات برخورد میان یونها و ذرات خنثای پلاسما، غلاف یک پلاسمای پالسی مدل سازی می شود. با در نظر گرفتن شیاری با مقطع مستطیل شکل روی کاتد، تاثیر برخورد یون-خشی بر مقدار و یکنواختی دز ذرات فرودی بر روی دیواره های شیار موجود بر روی کاتد مطالعه می شود. نتایج عددی حاصل از مدل دو بعدی ارایه شده نشان می دهد که با در نظر گرفتن برخوردهای یون-خشی، مقدار دز ذرات فرودی بر روی سطوح شیار کاهش می یابد. همچنین اثرات برخوردی باعث بدتر شدن یکنواختی دز ذرات روی سطح جانبی شیار می شود در حالیکه در فرودی بر روی کف شیار در حضور برخوردهای مذکور یکنواخت تر می شود