ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

به کارگیری روش هم بستگی در اندازه گیری ضخامت لایه های نانومتری اپتیکی از روی تداخل نگاشت فیزو

سال انتشار: 1388
کد COI مقاله: ICOPTICP16_278
زبان مقاله: فارسیمشاهد این مقاله: 1,398
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله به کارگیری روش هم بستگی در اندازه گیری ضخامت لایه های نانومتری اپتیکی از روی تداخل نگاشت فیزو

زهره خسروی - گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، اصفهان
مرتضی حاجی محمودزاده - گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، گروه پژوهشی اپتیک کوانتومی ساختمان فیزیک
حمیدرضا فلاح - گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، گروه پژوهشی اپتیک کوانتومی ساختمان فیزیک
مجتبی مستجاب الدعواتی - گروه فیزیک دانشگاه اصفهان،اصفهان

چکیده مقاله:

لایه های اپتیکی نانومتری روی شیشه در خلا تهیه شد. ضخامت آنها به صورت بلادرنگ با بلور کوارتز پایشگری و کنترل می شود و جهت زینه بندی کردن دستگاه، ضخامت لایه ها به روش اپتیکی اندازه گیری شد. به این منظور، تداخل سنج فیزو برای ثبت فریزهای تداخلی ناشی از پله، به کار گرفته شد. سپس در این کار روش جدید و دقیق تر همبستگی، برای یافتن ضخامت لایه های نازک در ابعاد نانومتری معرفی و به کاررفت. ضخامت پله نشانده شده با دو روش میانگین گیری و همبستگی اندازه گیری و نتایج ثبت گردید. دقت بالاتر، کاهش نوفه و امکان ضخامت سنجی لایه های با ضخامت بیش از نیم طول موج، از مزیت های این روش است. همه نتایج در توافق بسیار خوبی با عدد اعلام شده توسط بلور کوارتز هستند.

کلیدواژه ها:

ضخامت سنجی، لایه نازک، روش همبستگی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/73823/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
خسروی، زهره و حاجی محمودزاده، مرتضی و فلاح، حمیدرضا و مستجاب الدعواتی، مجتبی،1388،به کارگیری روش هم بستگی در اندازه گیری ضخامت لایه های نانومتری اپتیکی از روی تداخل نگاشت فیزو،شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران،یزد،،،https://civilica.com/doc/73823

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1388، خسروی، زهره؛ مرتضی حاجی محمودزاده و حمیدرضا فلاح و مجتبی مستجاب الدعواتی)
برای بار دوم به بعد: (1388، خسروی؛ حاجی محمودزاده و فلاح و مستجاب الدعواتی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود ممقالهقاله لینک شده اند :

  • _ معدل حقیقی، م. توسلی، ‌خ. حسنی، اندازه گیری ضخامت ...
  • با استفاده از پراش فرنل در بازتاب، پانزدهمین کنفرانس اپتیک ...
  • , ditionع [5] P. Hariharan; "Optical Interferometry"; 2" Academic Press. ...
  • _ _ _ the thin solid film 303, (1997) 255-263. ...
  • W. Hwang and J.P. Hwan Kim;، :Thin Film Thickness Profile ...
  • J. Hernandez; "Interferometric Thickness Determination Of Thin Metallic Films? Superficies ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 16,218
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی