برجسته نگاری تغییرات سطح در مرتبه نانومتر به کمک روش تداخل سنجی اسپکلی دیجیتالی با فاز متغیر 5 پله ای

سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,197

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICOPTICP16_232

تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388

چکیده مقاله:

در این مقاله با استفاده از روش تداخل سنجی اسپکلی با فاز پله ای متغیر در بازوی مرجع، توپوگرافی تغییرات اعمال شده به سطح را بدست آورده ایم. فاز پله ای اعمال شده شامل 5 پله با اختلاف فاز 90 درجه است. مزیت این روش، وابستگی کمتر نتایج اندازه گیری به انحرافات فاز، از مقدار معیار است. طبق نظریه داده برداری با فاز متغیر نتایج در مرتبه λ/256 است. نمونه مورد بررسی یک پتانسیومتر مکعب مستطیل با سطح مقطع 1×1cm بود.

نویسندگان

علی موسویان

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

ابراهیم بحرودی

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

حمید لطیفی

تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • _ Holography, pp. 38- 39, Springe. موسویان، ع، بحرودی، آ، ...
  • Hack, Erwin, ESPI - Principles _ p rospects, Trends in ...
  • Burke, Jan, Application _ optimization of the spatial phase shifting ...
  • Malacara, Daniel, Phase shifting in te rferometry, Optical shop testing, ...
  • نمایش کامل مراجع