شبیه سازی مکانیکی و مدال یک نوع سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با استفاده از نرم افزار Coventor

این مقاله به معرفی یک نوع سنسور میدان مغناطیسی برپایه سیستمهای میکرو الکترومکانیکی به نام Zanetti که بر پایه یک زیلوفن تشدیدی طراحی شده است میپردازد. در این مقاله سنسور میدان مغناطیسی با استفاده از نرم افزار Coventor طراحی شده و آنالیز مکانیکی و مدال بر روی آن صورت گرفته است. بخش طراحی شامل بخش لایه نشانی و اچینگ که در محیط process editor و ابعاد زیر لایه، آرایش ماسک گذاری و ایجاد لایه که در محیط Layout editor صورت می گیرد. آنالیز مکانیکی و مش بندی ساختار سنسور در محیط Processor نرم افزار Coventor انجام می گیرد.

کلیدواژه ها:

سیستمهای میکروالکترومکانیکی ، سنسور میدان مغناطیسی Zanetti ، شبیه سازی مکانیکی و مدال ، نرم افزار Coventor