طراحی و تحلیل سنسور فشار جمجمه میکروالکترو مکانیکی حساسیت بالا با استفاده از پیزورزیستیو
محل انتشار: دوازدهمین سمپوزیوم پیشرفت های علوم و تکنولوژی همایش ملی سرزمین پایدار، پژوهش های نوین در مهندسی برق و پزشکی
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 456
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELECTRICA04_004
تاریخ نمایه سازی: 21 اردیبهشت 1397
چکیده مقاله:
در این مقاله ، سنسور فشار داخل جمجمه پیزورزیستیو میکروالکترومکانیکی (MEMS (با هدف افزایش حساسیت ،طراحی و شبیه سازی شده است. طراحی این سنسور برای رنج فشار (MPa 03.0-0 (mmhg 225-0 است.در طراحی سنسور ، جنس و ساختار واندازه پیزورزیستورها بررسی شده است. بر اساس نتایج شبیه سازی و حفظ خطی بودن بسیار بالا، حساسیت mmhg/µv 4885.221 بدست امده است که نسبت به کارهای گذشته بسیار بهبود یافته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
فایزه ایمانی
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
بهرام عزیز الله گنجی
استاد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر