طراحی و تحلیل سنسور فشار جمجمه میکروالکترو مکانیکی حساسیت بالا با استفاده از پیزورزیستیو

سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 443

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ELECTRICA04_004

تاریخ نمایه سازی: 21 اردیبهشت 1397

چکیده مقاله:

در این مقاله ، سنسور فشار داخل جمجمه پیزورزیستیو میکروالکترومکانیکی (MEMS (با هدف افزایش حساسیت ،طراحی و شبیه سازی شده است. طراحی این سنسور برای رنج فشار (MPa 03.0-0 (mmhg 225-0 است.در طراحی سنسور ، جنس و ساختار واندازه پیزورزیستورها بررسی شده است. بر اساس نتایج شبیه سازی و حفظ خطی بودن بسیار بالا، حساسیت mmhg/µv 4885.221 بدست امده است که نسبت به کارهای گذشته بسیار بهبود یافته است.

نویسندگان

فایزه ایمانی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

بهرام عزیز الله گنجی

استاد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر