شبیه سازی یک سوییچ میکروالکترومکانیکی بر پایه کانتیلور پیزوالکتریکی

امروزه سوییچ های میکروالکترومکانیکی از جمله پرکاربردترین سوییچ های موجود در صنایع و کاربردهای مختلف به شمار می آیند. این نوع سوییچ ها به دلیل دارابودن فرکانس سوییچینگ بالا (در محدوده فرکانس رادیویی) مزیت عمده ای بر سوییچ های الکترونیکی و مکانیکی دارا هستند. در این پژوهش، ابتدا یک سوییچ میکروالکترومکانیکی بر پایه کانتیلورپیزوالکتریکی را به روش المان محدود مدلسازی و اعتبارسنجی می شود. نتایج حاصل از این شبیه سازی نشان می دهد که این میکروسوییچ حداکثر تا 1.2 میکرومتر در اثر اعمال ولتاژ سوییچنگ 10 ولت تحت تنش 114 مگاپاسکال جابجا می شود. طول عمر خستگی این میکروسوییچ نیز برابر با 100000 سیکل بوده که مصداقی بر طول عمر بالای این میکروسوییچ می باشد. درنهایت با انجام آنالیز دمایی محدوده دمایی زیر 37 درجه سانتیگراد محدوده مناسبی برای کارکرد بهینه میکروسوییچ توصیه می شود.

کلیدواژه ها:

سوییچ های میکروالکترومکانیکی ، کانتیلور پیزوالکتریکی ، مدلسازی به روش المان محدود