بررسی تاثیر پارامترهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه میکروتیر پیزوالکتریکی با سطح مقطع T شکل

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 426

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_JSFM-8-4_001

تاریخ نمایه سازی: 19 خرداد 1398

چکیده مقاله:

دستیابی به جابه جایی خارج از صفحه بالاتر در میکروتیرها موجب افزایش حساسیت و دقت میکرو سنسورها و افزایش دامنه جابه جایی و کارآیی میکرومحرک های مبتنی بر این میکروتیرها می شود. در این مقاله، جابه جایی خارج از صفحه یک میکروتیر پیزوالکتریک با سطح مقطع T شکل به روش المان محدود مدلسازی شده است. به منظور افزایش جابه جایی خارج از صفحه این میکروتیر، تاثیر پارامترهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه میکروتیر مذکور به روش تاگوچی بررسی شده است. سطح بهینه متغیرهای هندسی میکروتیر برای دستیابی به بیشترین جابه جایی خارج از صفحه میکروتیر، با تحلیل ضرایب سیگنال به نویز و ترتیب اهمیت تاثیر متغیرهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه با تحلیل واریانس تعیین شده است. در بین مشخصات هندسی تحلیل شده، طول میکرو کانتیلور (L) بیشترین تاثیر را بر روی میزان جابه جایی خارج از صفحه دارد. با افزایش طول میکرو کانتیلور جابه جایی خارج از صفحه آن بیشتر می شود. پس از طول، عمق جان تیر (h)، بیشترین تاثیر را بر جابه جایی نوک میکرو کانتیلور دارد. هر چه اندازه عمق جان تیر کمتر باشد، میزان جابه جایی میکرو کانتیلور بیشتر است. با استفاده از سطوح بهینه متغیرهای هندسی، مقدار جابه جایی خارج از صفحه 3/296 میکرومتر بدست آمد که حدود 3/2 برابر نتیجه آخرین تحقیق انجام شده در این زمینه است.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

علی عطار

دانشجوی کارشناسی ارشد سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیک، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران

محمد طهماسبی پور

استادیار، سیستمهای میکرو و نانوالکترومکانیک، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران

محمد دهقان

دانشجوی کارشناسی ارشد سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیک، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • شبیه سازی یک سوییچ میکروالکترومکانیکی بر پایه کانتیلور پیزوالکتریکی [مقاله کنفرانسی]
  • طهماسبی پور م، وفایی ع (1395) مدلسازی شتاب سنج پیزوالکتریکی ...
  • بهینه سازی یک سیستم الکترومکانیکی ذخیره انرژی بر پایه کانتیلورپیزوالکتریکی [مقاله کنفرانسی]
  • حسینی ر و فاتحی ناراب ه (1396) برداشت انرژی ارتعاشی ...
  • Castille C, Dufour I, Lucat C (2010) Longitudinal vibration mode ...
  • Lee JH, et al. (2005) Immunoassay of prostate-specific antigen (PSA) ...
  • Lee C, Itoh T, Suga T (1996) Micromachined piezoelectric force ...
  • Mahameed R, et al. (2008) Dual-beam actuation of piezoelectric AlN ...
  • Tahmasebipour M, Vafaei A (2017) A highly sensitive three axis ...
  • Tani M, et al. (2007) A two-axis piezoelectric tilting micromirror ...
  • Li Y, et al. (2006) Track-following control with active vibration ...
  • Erturk A, Inman DJ (2009) An experimentally validated bimorph cantilever ...
  • Furukawa T, Ishida K, Fukada E (1979) Piezoelectric properties in ...
  • Ajitsaria J, et al. (2007) Modeling and analysis of a ...
  • Suo Z, et al. (1992) Fracture mechanics for piezoelectric ceramics. ...
  • Kogan L, Hui CY, Molkov V (1996) Stress and induction ...
  • Minne S, Manalis S, Quate C (1995) Parallel atomic force ...
  • Itoh T, Lee C, Suga T (1996) Deflection detection and ...
  • Wang QM, Cross LE (1999) Tip deflection and blocking force ...
  • Shi Z, Xiang H, Spencer Jr B (2006) Exact analysis ...
  • Heinonen E, Juuti J, Jantunen H (2007) Characteristics of piezoelectric ...
  • Palosaari J, et al. (2009) Electromechanical performance of structurally graded ...
  • Mateti K, et al. (2013) Fabrication and characterization of micromachined ...
  • Kommepalli H, et al. (2011) Piezoelectric T-beam actuators. J Mech ...
  • Roy RK (2010) A primer on the Taguchi method. Society ...
  • Thomas A, Antony J (2005) A comparative analysis of the ...
  • Antony J, Jiju Antony F (2001) Teaching the Taguchi method ...
  • نمایش کامل مراجع