اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب

دراین مقاله روش اندازه گیری ضخامت لایه های نازکی که به صورت پله در:آمده باشند با استفاده ازپراش فرنل ازپله دربازتاب مطالعه شده است دراین مطالعه با استفاه ازدوطول موج 532و 633 نانومتر چند ضخامت درگستره چندین نانومتر تا 600 نانومتر اندازه گیری شده است دقت اندازه گیری درحدود 5 نانومتر است این روش باری لایه های با ضخا مت بیش ازطول موج نیزقابل استفاده است انجام روش ساده است وامکان اندازه کیری درزاویه های فرود مختلف دقت و اطمینان ازنتیجه را بطور چشمگیری افزایش می دهد .

کلیدواژه ها:

ضخامت ، لایه نازک ، پراش فرنل ، نمایانی ،