بررسی تأثیر دما و فشار کمکی اکسیژن در تولید و خواص اپتیکی فازهای بلوری آناتیس و روتیل در لایه نازک دی اکسید تیتانیوم

دی اکسید تیتانیوم دارای فازهای بلوری آناتیس و روتیل است . لایه نازکی از TiO2 به روش کندوپاش روی زیر لایه شیشه انباشت شد . که فرایند لایه نشانی در سه دمای مختلف زیر لایه 300 درجه کلوین، 473 درجه کلوین و 673 درجه در جو اکسیژن و آرگون و فشار کمکی اکسیژن صورت گرف ت . نتایج بدست آمده از دستگاه پراش اشعه x اسپکتروفوتومتر دو پرتویی نشان می دهند که با افزایش دمای زیر لایه و همچنین با افزایش فشار کمکی اکسیژن درشرایط ثابت مقدار تولید فاز بلوری آناتیس افزایش و از مقدارتولید فاز روتیل کم می شود.