مدل سازی و شبیه سازی میکروکانتیلور چند لایه پیزوالکتریک براساس تیوری های تنش کوپله اصلاح شده، گرادیان کرنشی و غیرمحلی در محیط هوا

با ظهور میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)، مدلسازی و شبیه سازی دقیقاین سیستم ها نقشی به سزا در شناسایی و پیشرفت عملکرد آن هاداشته است. این مقاله با استفاده از میکروکانتیلور ناپیوسته چند لایه ومحرک پیزوالکتریک توسط سه تیوری غیرکلاسیک متفاوت و برطبقمعادله ی تیر اویلر -برنولی به مدل سازی دینامیکی و آنالیز ارتعاشیمیکروکانتیلور میکروسکوپ مذکور می پردازد و مقایسه ای میان پاسخ هایفرکانسی و زمانی آن ها ارایه می دهد. معادله ی خطی حاکم و شرایطمرزی مورد نظر با استفاده از اصل همیلتون به دست می آید وگسسته سازی آن توسط روش اجزای محدود به دست می آید. علاوه براین، مقایسه پاسخ های فرکانسی و زمانی با استفاده از الگوریتم نیومارکصورت گرفته است. همچنین، توپوگرافی های سطح با استفاده از یکناهمواری دلخواه در دو مود غیرتماسی و ضربه ای به دست آمده اند.

کلیدواژه ها:

، AFM ، پیزوالکتریک ، المان محدود ، غیرکلاسیک