ویژگی های الکتریکی و نوری نانو ساختار های اکسید روی آلاییده شده توسط آلومینیوم

پوشش های نازک اکسید روی آلاییده شده با آلومینیوم (AZO) در دمای اتاق و توسط دستگاه کندوپاش رادیویی از ماده هدف اکسید روی آلاییده شده تهیه می شود. لایه نشانی در محیط آرگون با خلوص 99 ، 99% و بدون گرما دادن به زیرلایه و با توان پلاسمای 150 تا 300 وات انجام می شود و سپس در محیط خلا و در دماهای 300 ، 400 و 500 درجه سانتیگراد به مدت یک ساعت گرمادهی می شود. اثر گرمادهی بر روی خواص الکتریکی و نوری پوشش ها بررسی می شود. شفافیت، شکاف انرژی و مقاومت سطحی لایه ها محاسبه شده و اثر گرمادهی بر آنها مورد بررسی قرار می گیرد. نشان داده شده که تاثیر گرمادهی بر خواص نوری کم بوده اما خواص الکتریکی به شدت وابسته به گرمادهی لایه ها می باشد و گرمادهی خواص الکتریکی و نوری پوشش ها را بهبود می بخشد.

کلیدواژه ها:

نانو ساختار ها ، اکسید روی آلاییده شده ، پوشش های شفاف ، گرمادهی