تحلیل فراکتالی ساختار های سیلیکان نانو متخلخل

مورفولوژی ساختارهای نانو متخخل سیلیکان ایجاد شده ضمن فرایند حکاکی ناهمگن با رویکرد فراکتالی مورد بررسی قرار می گیرد تصاویر حاصل از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM ظهور ساختارهای هرم گونه را ضمن فرایند حکاکی نشان می دهد تحلیل چند فراکتالی افت و خیز حذف روند شده MFDFAمبتنی بر داده های حاصل از میکروسکوپ نیروی اتمی AFM نشان می دهد که سطوح سیلیکان قبل از حکاکی دارای ساختارهای منظم و تک فراکتال با نمای هارست H=1.7 هستند فرایند حکاکی منجر به بی نظمی ساختاری شده و سطوحی با خاصیت چند فراکتالی ایجاد می شوند که درجه بی نظمی و شدت چند فراکتالی با زمان افزایش می یابد نتایج نشان می دهند علت افزایش شدت چند فراکتالی در ناهمگن بودن توزیع ساختارهای هرم گونه و وجود همبستگی های متفاوت در ساختار است.

کلیدواژه ها:

ساختارهای نانو متخلخل سیلکان ، زمان حکاکی ، تحلیل MFDFA ، چند فراکتالی