بررسی تاثیر توان لایه نشانی بر روی ویژگی های بلوری و نوری نانو ساختار های اکسید روی آلاییده شده توسط آلومینیوم لایه نشانی شده توسط کندوپاش رادیویی

پوشش های نازک اکسید روی آلاییده شده با آلومینیوم (AZO) در دمای اتاق و توسط دستگاه کندوپاش رادیویی از ماده هدف اکسید روی آلاییده شده تهیه می شود. لایه نشانی در محیط آرگون با خلوص 99 ، 99% و بدون گرما دادن به زیرلایه و با توان پلاسمای 100 تا 300 وات انجام می شود و اثر توان پلاسما بر روی خواص نوری پوشش ها بررسی می گردد. شفافیت و شکاف انرژی توسط اندازه گیری طیف عبوری بررسی می شود. ساختار فیزیکی پوشش ها نیز توسط آنالیز XRD مورد بررسی قرار می گیرد. نشان داده شده که خواص فیزیکی و نوری پوشش ها وابسته به توان لایه نشانی است. پوشش های AZO تحت شرایط مختلف لایه نشانی خواص بلوری متفاوتی خواهند داشت. آزمایشات نشان داده است که پوشش های AZO با کیفیت بالای ساختار فیزیکی و طیف عبوری می تواند با روش کندوپاش رادیویی و بر روی زیرلایه شیشه به دست آید.

کلیدواژه ها:

نانو ساختار ها ، اکسید روی آلاییده شده ، پوشش های شفاف ، ویژگی های بلوری و نوری