اثر نسبت مولی اجزاء شرکت کننده در واکنش پوششهای سرامیکی TiN روی ابزارهای برشی به روش CVD
محل انتشار: چهارمین کنگره سرامیک ایران
سال انتشار: 1381
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,575
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICC04_044
تاریخ نمایه سازی: 13 فروردین 1387
چکیده مقاله:
به منظور افزایش چقرمگی (Toughness) و مقاومت به سایش ابزارهای برشی را با یک لایه نازک (Thin films)پوشش می دهند پوششهای سرامیکی TinوTiCوAl2O3 موادی هستند که از مدت ها پیش مورد استفاده قرار گرفته اند.
تکنیک CVD (رسوب گذاری از فاز بخار) از دهه هشتاد میلادی دارای سوابق اندک دانشگاهی در ایران می باشد در این مقاله با طراحی و ساخت راکتور در سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران پروسه پوشش دهی TiN (نیترایدتیتانیم) به روش CVD انجام گرفته و اثر نسبت مولی گازهای شرکت کننده در واکنش به عنوان عامل اصلی در سرعت رسوب گذاری مورد بررسی و مطالعات ریز ساختارها و سطح مشترک پوشش و زمینه از طریق SEMوXRD و سختی و زبری سطح و میزان چسبندگی پوشش مورد ارزیابی قرار گرفته است ضمن این که عوامل منفی در پروسه مشخص شده است.
نویسندگان
پرویز میرآخورلی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
مرتضی تمیزی فر
دانشگاه علم و صنعت ایران
مجید لمسه چی
سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :