MEMS

با پیشرفت تکنولوژی امروزه نیازمند داشتن لوازم دقیق تر در صنعت و پزشکی و کشاورزی و سایر علوم هستیم. NEMS و MEMS این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این است تا بعد از آشنایی کلی با این تکنولوژی نو زمینه هاو کاربردهای آن , نحوه طراحی و اصول ساخت و گونه های تلفیقی آن با سایر علوم مورد بررسی قرار گیرد.در پایان با نحوه طراحی مدارهای مجتمعCMOS " MEMS که جدید ترین شاخه " MEMS است آشنا می شویم.

کلیدواژه ها:

ابزا ، دقیق ، سنسور ، محرکه ، میکرو ماشین ، میکرو الکترونیک