ساخت قطعه سنسور گازی (O2 - CO2) لایه نازک نانو ساختار SnO2:Cu و طراحی مدار الکترونیکی مربوطه

در این مقاله، لایه های نازک اکسید قلع با ناخالصی مس به عنوان یک سنسور لایه نازک گازی به روش اسپری پایرولیز جایگذاری شده است. پارامترهای حسگری قطعه سنسور در حضور گازهای O2 و CO2 بر پایه سنسور SnO2:Cu با ترازهای مختلف ناخالصی برا درصدهای اتمی %Cu]/[Sn]= E* C* I* H* FE* FC/D* FD* CE* CD at] مطالعه شد. طیف پراش پرتو X و تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM الگوی نانو ساختار نمونه ها را نشان می دهد. اندازه گیری مقاومت الکتریکی لایه ها نشان داد که با افزایش ناخالصی Cu در لایه ها، مقاومت الکتریکی قطعه افزایش قابل ملاحظه ای می یابد که از این پدیده می توان برای حسگری گازهای O2 و CO2 استفاده نمود. علاوه بر این، گزارشی از ساخت سنسور و طراحی مدار الکترونیکی مربوطه برای عملیات حسگری قطعه ارائه شده است.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، سنسور گازی ، اکسید فلزی ، نانو ساختار ، میکروسکوپ الکترونیروبشی