مروری بر سلف های میکروالکترومکانیکی

واژه سیستمهای میکروالکتروماکنیکی یا همان MEMS معرف یک فرآیند تکنولوژی است که برای به وجود آوردن سیستمها و ادوات یکپارچه مجتمع با ترکیب عناصر الکترویکی و مکانیکی به کار می رود. تحقق کامل سیستمها در یک تراشه نوعی فناوری است که اجازه توسعه محصولات هوشمند تکمیل توانایی محاسباتی میکروالکترونها را با در نظر گرفتن قابلیتهای میکروحسگرهای میکرو محرکها و توسعه فضای ممکن طراحی ممکن می سازد.

کلیدواژه ها:

میکروسوییچ ، دیوید PIN ، ترانزیستور FET