سوئیچ میکروالکترومکانیکی با تحریک هیبرید الکترواستاتیکی- حرارتی

تامین ولتاژ تغذیه ی بالا یکی از مهم ترین چالش های مربوط به طراحی سوئیچ های میکروالکترومکانیکی الکترواستاتیکی است. بطوریکه کاهش این ولتاژ به یکی از مسائل مهم برای طراحان تبدیل شده است. از طرف دیگر نیاز به مدارات مبدل ولتاژ برای تامین ولتاژ تغذیه ی بالای سوئیچ ها مشکل بزرگ دیگری است. سوئیچ های با تحریک حرارتی نمونه ی دیگری از سوئیچ های میکرومکانیکی هستند ولی مصرف توان آنها بسیار زیاد است. در این مقاله یک میکرو سوئیچ با ولتاژ تحریک پایین طراحی شده است که از ترکیب روش های تحریک الکترواستاتیکی و حرارتی استفاده می کند و قابلیت رفع مشکلات عملکرد سوئیچ های متداول را دارد. این سوئیچ می تواند بدون نیاز به مدارات مبدل ولتاژ با مدارات الکترونیکی مجتمع شود. مصرف توان حرارتی آن از نمونه هایی که منحصرا از روش تحریک حرارتی استفاده می کنند، بسیار کمتر است. زمان کلیدزنی حدود sµ 70 و ماکزیمم دمای محرک حرارتی آن کمتر ازC ° 150 است و نمی تواند آسیبی را در مدت طولانی از عملکرد سوئیچینگ ایجاد کند.

کلیدواژه ها:

MEMS ، میکروسوئیچ ، تحریک هیبرید الکترو- حرارتی ، مبدل ولتاژ ، ولتاژ pull in