ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید

سیلیکن نیترید به عنو ان یک ماده ی مقاوم در مقابل حرا رت ویژگی های بسیا رخوبی دارد لایه نازک سیلیکن نیتریدآمور ف در دماهای بالا پایدار بو ده، مقاومت الکتریکی بالایی دا رد و نرخ نفو ذ رطوبت درآن کم است دراین پژوهش لایه نازک سیلیکن نیترید با استفاده از کندوپاش به وش RF روی زیر لایه های ژ رمانیم وکوارتز، بدون گرمادهی به زیرلایه تهیه شده است. Si3N4 سرامیکی به عنو ان ماده ی هدف انتخاب شده است. به علاوه، از ترکیبات متفاوت دوگاز ارگون و نیتروژن به عنو ان گاز کندوپاش استفاده شده است و تاثیر آنها روی ویژگی ها و ترکیب لایه های نازک بدست آمده مور د بر سی قرا گر فته است. در نهایت ترکیب و ساختارلایه نازک با استفاده از طیف سنج تبدیل فوریه فروسرخ (FT-IR) و طیف سنج مرئی فرابنفش - (UV-Visible) مشخصه یابی شده اند

کلیدواژه ها:

سیلیکن نیترید ، لایه نشانی کندوپاش RF ، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز ، طیف سنجی مرئی فرابنفش - ، ساختار ماده ،