ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

سنسور فشار خازنی با ساختارMEMS

سال انتشار: 1393
کد COI مقاله: ELECTRICA01_102
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 794
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 8 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله سنسور فشار خازنی با ساختارMEMS

آصفه بهمئی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک
مجید پوراحمدی - عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک

چکیده مقاله:

کپیاندازهگیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و .... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی داردو کاهش اندازه فیزیکی سنسورها و تغییر در رنج اندازهگیری آنها از ماکرو به میکرو، نیازمند طراحی و ساخت سنسورهای جدید یا تغییر ابعاد سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو میباشد، متخصصین در زمینهها، کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرتر مهندسین ابزار دقیق را بر آن میدارد تا به طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود برآیند. در این مقاله طراحی یک سنسورMEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل FEM المان محدود شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش ،تنش و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequencyمحاسبه گردیده است هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسور فشار میباشد که با افزایش فشار وارده بر سنسور ،میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتریک ها افزایش دادیم.فرکانس تشدید 2.12 مگاهرتز محاسبه شده است.

کلیدواژه ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ELECTRICA01_102 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/346526/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
بهمئی، آصفه و پوراحمدی، مجید،1393،سنسور فشار خازنی با ساختارMEMS،همایش ملی مهندسی برق، مخابرات و توسعه پایدار،مشهد،https://civilica.com/doc/346526

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1393، بهمئی، آصفه؛ مجید پوراحمدی)
برای بار دوم به بعد: (1393، بهمئی؛ پوراحمدی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • دکتر مسعود دوستی، اصول نانوتکنولوژی و سیستمهای میکروالکترومکانیکی، تهرا ن، ...
  • Lynn F. Fuller, Fellow, IEEE, Steven Sudirgo, Student Member, IEEE ...
  • Sensata Technologies, Pressure Transducers Technical ...
  • Capacitive Pressure Transducers, Mitch Berkson, Original, Dave Field, Update, 2007. ...
  • Ko, W.H.; Wang, Q. "Touch mode capacitive pressure sensors for ...
  • Y. Hezarjaribi, Golestan University, Gorgan, Iran, M. N. Hamidon, AR. ...
  • Toshihiko Omi, Syo Saskai, Fumihiko Sato and Mikio Matsumoto, Central ...
  • Gitesh Mishra, Neha Paras, Arti Arora, P.J.George, Simulation Of Mems ...
  • B.A. Ganji*, M. Shams Nateri ; Modeling of Capacitance and ...
  • Square Diaphragm; IJE TRANS ACTIONS B: Applications Vol. 26, No. ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه آزاد
    تعداد مقالات: 7,380
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی