مروری بر المان های پسیو تنظیم پذیر برای کاربرد در فرکانس رادیویی با بکارگیری تکنولوژی MEMS

ظهور سیستم های فرکانس بالا که از تکنولوژی میکروالکترومکانیکی (MEMS) بهره می گیرند. تحولی شگرف در علم مهندسی و شاخه مخابرات پدید آورده است. سلف و خازن تنظیم پذیر MEMS قطعاتی حیاتی برای استفاده در پهناهای فرکانسی بالا می باشند و این قابلیت را دارا می باشند که جایگزین دیودهای ورکتور متداول در بسیاری کاربردها از قبیل نوسان سازها، فیلترهای قابل تنظیم و شیفت دهنده های فاز شوند. المانهای ساخته شده با این تکنولوژی میزان تلفات پایین تر، قابلیت تنظیم و محدوده تغییرات وسیع تری دارند. کاربرد عمده ورکتورهای MEMS در فیلترها و شبکه های قابل تنظیم 3 گیگاهرتز تا 60 گیگاهرتز می باشد. در این مقاله سلف ها و خازن هایی را که تا به امروز توسعه یافته اند را مورد بررسی قرار خواهیم داد.

کلیدواژه ها:

review ، میکروالکترومکانیک ، خازن MEMS ، سلف MEMS