مدل سازی و شبیه سازی رفتاری شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار MATLAB/SIMULINK
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,226
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
EOESD01_015
تاریخ نمایه سازی: 11 خرداد 1393
چکیده مقاله:
در این مقاله، یک شتاب سنج خازنی میکروالکترومکانیکی به صورت حلقه باز با شتاب ورودی قابل قبول ±4g مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی MEMS و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شد. مدلسازی این شتاب سنج در دو بخش مدل سازی وشبیه سازی قسمت مکانیکی و استخراج تغییرات ظرفیت خازنی و مدارات الکترونیکی انجام شده است. در طراحی مدارات الکترونیکی از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ-خازنی برای رسیدن به بهره ی بالا و یک دمدولاتور حساس به فاز جهت تشخیص علامت شتاب وارده استفاده شد. اعتبار نتایج هر دو بخش مکانیکی و الکترونیکی شتاب سنج مدل شده به کمک نرم افزار MATLAB/SIMULINK در هر قسمت سنجیده شده و در نهایت مشخص گرید که مدل به دست آمده از دقت قابل قبولی در شتاب های تا ±4g و حساسیت 0.708 pF/g برخوردار می باشد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
عبدالمجید دیناروند
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - مخابرات دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره)
نوید دیناروند
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
محمد خالقی
دانشجیو کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :