طراحی وساخت سخت افزار و تهیه نرم افزار کامپیوتری به منظور کنترل بر فرآیند الکتروانباشت فیلم های نازک چند لایه ای نانو مقیاس

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,313

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC85_156

تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385

چکیده مقاله:

روش الکتروانباشت یکی ازروش های بسیار قوی وپرکاربرد در زمینه ایجاد پوشش ها و لایه های نازک روی الکترودهای فلزی است . مشخصات این فرآیند به صورتی است که به منظور تولید لایه هایی با مشخصات مورد نظر، لازم است تا جریان و ولتاژ عبوری از الکترولیت به صورت دقیق اندازه گیری شده و قابلیت تغییر آن مطابق پروفایلی خاص در زمان های بسیار کوتاه فراهم باشد . در واقع دستگاه مورد نظر علاوه بر اینکه باید دارای مشخصات پایداری در حالت های جریان و ولتاژ استاتیک باشد باید قادر باشد که دینامیک مورد لزوم جهت داشتن لایه مناسب را از لحاظ کنترل بر ولتاژ و جریان به همراه داشته باشد . در این مقاله نحوه طراحی وساخت دستگاه مورد نظر برای فرآیند خاص الکتروانباشت آورده شده و اجزاء متناسب با فرآیند طراحی شده اند . همچنین ساختار نرم افزار و اعمال لاجیک های کنترل و نحوه ارتباط با PC ذکر شده و ایجاد یک پروفایل ولتاژی و جریانی توسط دستگاه با مقادیر اعمالی به آن مقایسه شده است . قابل ذکر است که ساختار آورده شده یک ساختار عمومی برای کنترل بر فرآیندهای مشابه شیمیایی و فیزیکی را مهیا می نماید

نویسندگان

غلامرضا نبیونی

گروه فیزیک، دانشگاه اراک

مرضیه عسگری

گروه فیزیک، دانشگاه اراک

حمید عبدی

گروه برق دانشگاه علم و صنعت ایران، دانشکده فنی و مهندسی اراک