طراحی وساخت سخت افزار و تهیه نرم افزار کامپیوتری به منظور کنترل بر فرآیند الکتروانباشت فیلم های نازک چند لایه ای نانو مقیاس
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1385
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,239
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC85_156
تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385
چکیده مقاله:
روش الکتروانباشت یکی ازروش های بسیار قوی وپرکاربرد در زمینه ایجاد پوشش ها و لایه های نازک روی الکترودهای فلزی است . مشخصات این فرآیند به صورتی است که به منظور تولید لایه هایی با مشخصات مورد نظر، لازم است تا جریان و ولتاژ عبوری از الکترولیت به صورت دقیق اندازه گیری شده و قابلیت تغییر آن مطابق پروفایلی خاص در زمان های بسیار کوتاه فراهم باشد . در واقع دستگاه مورد نظر علاوه بر اینکه باید دارای مشخصات پایداری در حالت های جریان و ولتاژ استاتیک باشد باید قادر باشد که دینامیک مورد لزوم جهت داشتن لایه مناسب را از لحاظ کنترل بر ولتاژ و جریان به همراه داشته باشد . در این مقاله نحوه طراحی وساخت دستگاه مورد نظر برای فرآیند خاص الکتروانباشت آورده شده و اجزاء متناسب با فرآیند طراحی شده اند . همچنین ساختار نرم افزار و اعمال لاجیک های کنترل و نحوه ارتباط با PC ذکر شده و ایجاد یک پروفایل ولتاژی و جریانی توسط دستگاه با مقادیر اعمالی به آن مقایسه شده است . قابل ذکر است که ساختار آورده شده یک ساختار عمومی برای کنترل بر فرآیندهای مشابه شیمیایی و فیزیکی را مهیا می نماید
نویسندگان
غلامرضا نبیونی
گروه فیزیک، دانشگاه اراک
مرضیه عسگری
گروه فیزیک، دانشگاه اراک
حمید عبدی
گروه برق دانشگاه علم و صنعت ایران، دانشکده فنی و مهندسی اراک