CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

طراحی وساخت سخت افزار و تهیه نرم افزار کامپیوتری به منظور کنترل بر فرآیند الکتروانباشت فیلم های نازک چند لایه ای نانو مقیاس

عنوان مقاله: طراحی وساخت سخت افزار و تهیه نرم افزار کامپیوتری به منظور کنترل بر فرآیند الکتروانباشت فیلم های نازک چند لایه ای نانو مقیاس
شناسه ملی مقاله: IPC85_156
منتشر شده در کنفرانس فیزیک ایران 1385 در سال 1385
مشخصات نویسندگان مقاله:

غلامرضا نبیونی - گروه فیزیک، دانشگاه اراک
مرضیه عسگری - گروه فیزیک، دانشگاه اراک
حمید عبدی - گروه برق دانشگاه علم و صنعت ایران، دانشکده فنی و مهندسی اراک

خلاصه مقاله:
روش الکتروانباشت یکی ازروش های بسیار قوی وپرکاربرد در زمینه ایجاد پوشش ها و لایه های نازک روی الکترودهای فلزی است . مشخصات این فرآیند به صورتی است که به منظور تولید لایه هایی با مشخصات مورد نظر، لازم است تا جریان و ولتاژ عبوری از الکترولیت به صورت دقیق اندازه گیری شده و قابلیت تغییر آن مطابق پروفایلی خاص در زمان های بسیار کوتاه فراهم باشد . در واقع دستگاه مورد نظر علاوه بر اینکه باید دارای مشخصات پایداری در حالت های جریان و ولتاژ استاتیک باشد باید قادر باشد که دینامیک مورد لزوم جهت داشتن لایه مناسب را از لحاظ کنترل بر ولتاژ و جریان به همراه داشته باشد . در این مقاله نحوه طراحی وساخت دستگاه مورد نظر برای فرآیند خاص الکتروانباشت آورده شده و اجزاء متناسب با فرآیند طراحی شده اند . همچنین ساختار نرم افزار و اعمال لاجیک های کنترل و نحوه ارتباط با PC ذکر شده و ایجاد یک پروفایل ولتاژی و جریانی توسط دستگاه با مقادیر اعمالی به آن مقایسه شده است . قابل ذکر است که ساختار آورده شده یک ساختار عمومی برای کنترل بر فرآیندهای مشابه شیمیایی و فیزیکی را مهیا می نماید

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/24801/