طراحی میکرو فلو متر گازی جدید با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک سنسورها

در این مقاله یک میکرو تیرک جدید سیلیکنی بسیار حساس به همراه استرین گیج پیزو مقاومتی مجتمع شده uشکل بر روی آن مورد استفاده در فلومتر های گازی را بهینه سازی و یک سیستم بازخوانی پیزو مقاومتی جدید را معرفیمی نماییم. برای اصلاح حساسیت سنسورها ی میکرو تیرکی ،این مقاله مشخصه های خمش ،لرزش و ماکزیمم استرس میکروتیرک های مستطیلی و ذوزنقه ای شکل را آنالیز و مقایسه می نماییم .در نتیجه یک میکرو تیرک جدید ذوزنفه ایشکل با حساسیتی بسیار بیشتر از انواع سنتی آن طراحی شده است.استرس سطحی ، به صورت نیروی کششی درون صفحه ای که به لبه بالایی میکروتیرک وارد شده مدل شده است. نرم افزار ANSYS به عنوان ابزار طراحی و مدلسازی خصوصیات مکانیکی میکروتیرکهای مبتنی بر سیلیکن استفاده شده است. مدلسازی میکروتیرک با معادلات اویلر- برنولی و فرمولهای استونی برای محاسبه مومنتوم استرس سطحی و خمش انجام شده است.برای انتخاب حساس ترین میکروتیرک ،ابعاد با استفاده از الگوریتم ژنتیک بهینه سازی شده است.نتایج شبیه سازی از تطابق بسیار بالایی برخوردار می باشند