خواص مکانیکی لایه های نازک مس تهیه شده به روش الکترولس و آبکاری الکتریکیجهت استفاده در ماژول های الکترونیکی

خواص مکانیکی لایه های نازک مس تهیه شده به دو روش الکترولس و آبکاری الکتریکی با استفاده از آزمون کشش و نانو ایند یتیشن مقایسه شدند. ملاحظه گردیدکهمدول یانگ و کشش لایه ها بشدت به ساختار کریستالی و ریزساختار آن ها بستگی دارد. لایه نازک تهیه شده بروش الکترولس، متشکل از نانو ذرات کروی با ساختار تک کریستالی بوده و بهم فشردگی مرزدانه ها بوضوح مشاهده گردید. مدول یانگ برای فیلم مس تهیه شده بروش الکترولس با مدول یانگ مس توده ای مطابقت داشت.لایه تهیه شده بروش آبکاری الکتریکی، پلی کریستالی بوده و تغییرات و افت شدید مدول یانگ در امتداد ضخامت لایه مشاهده گردید

کلیدواژه ها:

مدول یانگ ، استحکام کششی ، ریز ساختار ، الکترولس ، آبکاری الکتریکی