لایه نشانی اکسید روی به روش رسوبگذاری بخار شیمیایی پلاسمایی با استفاده از ماده فلزی - آلی استیل استات روی
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,521
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP17_160
تاریخ نمایه سازی: 19 آبان 1389
چکیده مقاله:
دراین مقاله لایه نشانی اکسیدروی ZnO به کمک فرایند رسوبگذاری بخار شیمیایی در محیط پلاسما با راکتور کوپل خازنی و منبع تغذیه فرکانس رادیویی RF-PECVD موردمطالعه قرارگرفته است ترکیب فلزی - الی استیل استات روی Zn(acac)2 به عنوان ماده اولیه روی و گا زاکسیژن به عنوان ماده اولیه اکسیژن استفاده شده است در اینجا اثر نسبت فشار جزئی گاز اکسیژن به فشار جزئی بخار ماده استیل استونات روی برساختار شیمیایی لایه در دمای زیر 100 درجه سانتی گراد بررسی شده است بررسی ساختار بدست آمده از طریق تحلیل طیف فروسرخ با تبدیل فوریه FTIR صورت گرفت همچنین جذب طیف UV-Vis بررسی شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :