شبیه سازی روش اندازه گیری ضخامت لایه نشانی طلا بر روی سطح نیکل با استفاده از پس پراکندگی پرتو الکترونی توسط کدMCNP

یکی از روش های اندازه گیری ضخامت لایه های نازک، استفاده از پس پراکندگی پرتو بتا است. این روش به دلیل سرعت اندازه گیری بالا و دقت قابل قبول، موردتوجه قرار گرفته است. در این تحقیق یک سیستم جهت اندازه گیری ضخامت لایه طلا بر روی دیسکی از جنس نیکل، توسط نرم افزارMCNPطراحی شد. با توجه به اینکه ترابرد الکترون ها در کدهای مونت کارلو به دلیل تعداد زیاد اندرکنش های الکترون و تغییر مسیرهای فراوان در حین ترابرد درون ماده، با خطای زیادی همراه است، در نسخه های جدیدتر کدMCNPامکانی برای کاهش این خطا قرار داده شده است. در این تحقیق، روشی برای کاهش خطای حاصل از محاسبه توسط تقسیم گام ها به زیر گام ها ارائه شده و در نهایت محدوده ضخامت قابل اندازه گیری با این سیستم مشخص شد. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که اندازه گیری ضخامت طلا در محدوده 0/2-8میکرومتر با دقت اندازه گیری بالای 98 درصد با استفاده از این روش امکان پذیر است.