طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT

سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,411

فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISME18_421

تاریخ نمایه سازی: 1 تیر 1389

چکیده مقاله:

در این مقاله مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT نشان داده شده است در ابتدا دیافراگمی بصورت چندلایه متشکل از لایه های Pt/Ti/PZT/PT/Ti/SiO2 توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS FE طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب ترسنسور، بهینه شده است

نویسندگان

وحید محمدی

هیات علمی گروه برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد قشم

سعیده محمدی

بخش مکانیک دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • ترکیان، شهاب، برزگر، عبدالغفار، محمدی، وحید، شیخی، محمد حسین، 1388، ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • M. A. Dubois, P. Muralt, 1998, _ thin film actuated ...
  • M. Koch, N. Harris, A. Evans, N.M. White, A. novel ...
  • K. Kunz, P. Enoksson, G. Stemme, 2001 "Highly sensitive triaxial ...
  • J. Mandle, O. Lefort, A. Migeon, 1995, :A new micromachined ...
  • M. J. Mescher, M. L. Vladimer, J. J. Bernstein, piezoelectric ...
  • Mechanical Systems 2002, Las Vegas, USA, 20-24 January 2002, pp. ...
  • P. Muralt, et al., 2001, :Piezoelectro thin films for MEMS", ...
  • Shuo Hung Chang, Yi Chung Tung, july 1999, _ FElectro-Elastc ...
  • transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, vol. 46, no. ...
  • Vahid Mohammadi, M. H. Sheikhi, 2009, "Design, Modeling and Optimization ...
  • Vahid Mohammadi, M. H. Sheikhi, Sh. Torkian, A. Barzegar, E. ...
  • نمایش کامل مراجع