مروری بر مقایسه بین روش اکسیداسیون پلاسمای الکترولیتی آندی و روش پلاسمای الکترولیتی کاتدی
محل انتشار: هفتمین همایش ملی فناوری نانو از تئوری تا کاربرد
سال انتشار: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 948
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNTA07_048
تاریخ نمایه سازی: 28 مهر 1398
چکیده مقاله:
هدف اصلی در این مقاله علمی ترویجی، مرور کلی بر مقایسه بین دو زیر شاخه ی مهم فرآیند پلاسمای الکترولیتی؛روش پلاسمای اکسیداسیون آندی و پلاسمای الکترولیتی کاتدی، چگونگی عملکرد و بررسی ویژگی هر یک و میزان نفوذ آنها به علم لایه های نازک، علم مطالعه بر روی لایه های سطحی نازک به ضخامت یک دهم نانومتر و چندین میکرومتر روی مواد مختلف به ویژه فلزها، اعم از طبیعی(اکسیدها و یا ترکیبات مشتق از ماده ی زیرلایه) و مصنوعی یا انباشت شده، می باشد. طی توسعه و پیشرفت زیرشاخه های این علم در گذر چندین دهه ی اخیر اعم از روش های الکتروشیمیایی، روش های الکترونی، یونی، باریکه ی لیزری و پلاسما و همچنین پلاسمای الکترولیتی به منظور رسوب گذاری و ته نشست لایه های نازک، علم فیزیک لایه های نازک به مسائل خوردگی و حفاظت ماده طی فناوری خلاء می پردازد.
کلیدواژه ها:
فیزیک لایه های نازک ، پلاسمای الکترولیتی ، پلاسمای اکسیداسیون آندی ، پلاسمای الکترولیتی کاتدی ، اکسید ، خوردگی ، الکتروشیمیایی ، الکترونی ، یونی ، باریکه ی لیزری
نویسندگان
نازنین محسنی نیا
کارشناسی ارشد فیزیک لایه های نازک، پژوهشکده نیمه هادی ها، پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج-مشکین دشت