بررسی اثرات ناهمسانگردی سیلیکون تک کریستال بر آسیب های زیرسطحی حاصل از ماشین کاری نانومتری

ماشینکاری نانومتری فرآیندی پیشرفته جهت نیل به صافی سطح و دقت ابعادی بالا میباشد؛ که با استفاده از آن میتوان مواد ترد همچون سیلیکون را نیز مانند مواد چکش خوار ماشینکاری نمود. با توجه به ناهمسانگرد بودن سیلیکون، رفتار براده برداری این ماده در جهات مختلف براده برداری متفاوت خواهد بود. در این مقاله به بررسی تاثیر شش حالت مختلف ماشینکاری در سه صفحه کریستالی پرداخته شده است. توزیع تنش و روند ایجاد آسیبهای زیرسطحی، مواردی بودند که مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان دهنده ایجاد آسیبهای زیرسطحی دندانه ای در جهت {110}<110> بود.

کلیدواژه ها:

سیلیکون تک کریستال ، ماشینکاری نانومتری ، آسیب های زیرسطحی ، توزیع تنش ، آمورف شدگی.